Termodynamické aspekty přípravy tenkých vrstev a povlaků metodou CVD

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22310%2F03%3A00007485" target="_blank" >RIV/60461373:22310/03:00007485 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/60461373:22310/03:00008130 RIV/60461373:22340/03:00008130 RIV/60461373:22340/03:00007485

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Termodynamické aspekty přípravy tenkých vrstev a povlaků metodou CVD

Popis výsledku v původním jazyce

Termodynamické aspekty metody CVD byly diskutovány v případě otevřených systémů. Konkrétní výsledky byly demonstrovány na systémech Ti-B-Cl-H a Al-Ga-In-N-C-H.

Název v anglickém jazyce

Thermodynamics of thin layers and coatings deposition by CVD

Popis výsledku anglicky

Thermodynamic aspects of the chemical vapor deposition (CVD) and the conception of the local thermodynamic equilibrium in open systems are discussed. Two particular systems, namely Ti-B-Cl-H and Al-Ga-In-N-C-H, were chosen as the examples.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Vrstvy a povlaky 2003

ISBN

80-968337-1-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

24-29

Název nakladatele

Digital Graphic

Místo vydání

Trenčín, Slovenská republika

Místo konání akce

Trenčín, Slovenská republika

Datum konání akce

22. 5. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—