Termodynaické aspekty přípravy tenkých vrstev a povlaků metodou CVD

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22310%2F03%3A00008129" target="_blank" >RIV/60461373:22310/03:00008129 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/60461373:22340/03:00008129

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Termodynaické aspekty přípravy tenkých vrstev a povlaků metodou CVD

Popis výsledku v původním jazyce

Termodynaické aspekty přípravy tenkých vrstev a povlaků metodou CVD

Název v anglickém jazyce

Thermodynamic aspects of thin layers and coatings deposition by CVD

Popis výsledku anglicky

Thermodynamic aspects of the chemical vapor deposition and the conception of the local thermodynamic equilibrium in open systems are discussed. Two particular systems, namely Ti-B-Cl-H and Al-Ga-In-N-C-H were chosen as the examples for which the resultsof thermodynamic analysis are presented. Calculated deposition diagrams are subsequently used to predict the technological conditions which are suitable to achieve desired composition of the deposited layers.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BJ - Termodynamika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Sborník Vrstvy a povlaky 2003

ISBN

80-968337-1-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

24-29

Název nakladatele

Vrstvy a povlaky 2003

Místo vydání

Trenčín

Místo konání akce

Trenčín

Datum konání akce

22. 5. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—