New method for the in situ determination of AlxGa1-xN composition in MOVPE by real-time optical reflectance

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22310%2F06%3A00022514" target="_blank" >RIV/60461373:22310/06:00022514 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
New method for the in situ determination of AlxGa1-xN composition in MOVPE by real-time optical reflectance
Popis výsledku v původním jazyce
This paper reports on the in situ determination of the Al-content in AlxGa1?xN layers deposited by MOVPE on sapphire and silicon substrates by means of optical reflectance. The accuracy of the conventional in situ method which utilizes the dependence ofthe refractive index and the extinction coefficient on Alcontent is compared to that of the new dispersion approach. The limits and possibilities of the new approach will be discussed.
Název v anglickém jazyce
New method for the in situ determination of AlxGa1-xN composition in MOVPE by real-time optical reflectance
Popis výsledku anglicky
This paper reports on the in situ determination of the Al-content in AlxGa1?xN layers deposited by MOVPE on sapphire and silicon substrates by means of optical reflectance. The accuracy of the conventional in situ method which utilizes the dependence ofthe refractive index and the extinction coefficient on Alcontent is compared to that of the new dispersion approach. The limits and possibilities of the new approach will be discussed.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
CA - Anorganická chemie
OECD FORD obor
—

Rok uplatnění
2006
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)