Termodynamické aspekty přípravy epitaxních vrstev GaN:Cr metodou MOVPE

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22310%2F07%3A00018239" target="_blank" >RIV/60461373:22310/07:00018239 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/60461373:22310/07:00018272

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Termodynamické aspekty přípravy epitaxních vrstev GaN:Cr metodou MOVPE

Popis výsledku v původním jazyce

Na základě podrobné termodynamické analýzy systému Ga-Cr-N-C-H byly stanoveny vhodné podmínky pro depozici epitaxních vrstev GaN:Cr metodou MOVPE. Výpočty byly provedeny pro obor teplot 800-1100 °C při tlaku 10 a 100 kPa pro různá počáteční složení plynné fáze. V rovnováze s plynnou fází byly uvažovány pevný (bcc) a kapalný roztok Cr-Ga, nitrid (Ga,Cr)N a 12 čistých pevných látek. Byly stanoveny takové počáteční podmínky - teplota, tlak a počáteční složení plynné fáze - za kterých je pevný (Ga,Cr)N jedinou termodynamicky stabilní kondenzovanou fází a obsah rozpuštěného chrómu lze snadno řídit výchozí koncentrací prekurzorů Cr v plynné fázi.

Název v anglickém jazyce

Thermodynamic aspects of GaN:Cr epitaxial layers growth by MOVPE

Popis výsledku anglicky

On the basis of thorough thermodynamic analysis of the Ga-Cr-N-C-H system, feasible conditions for the deposition of GaN:Cr epitaxial layers by MOVPE are discussed. The analysis was performed in the temperature range of 800-1100 °C at pressures ranging from 10 to 100 kPa for various input gas phase compositions. Solid (bcc) and liquid Cr-Ga solution, solid nitride (Ga,Cr)N as well as twelve single-species solid phases were considered to coexist in equilibrium with the gas phase. Initial conditions - temperature, pressure and input gas phase composition - were assessed under which the solid (Ga,Cr)N is the only stable condensed phase in the system and the content of chromium can be simply controlled by chromium concentration in the surrounding atmosphere.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BJ - Termodynamika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA104%2F06%2F0642" target="_blank" >GA104/06/0642: Tenké vrstvy magneticky dopovaných polovodičů A(iii)N pro aplikace ve spinové elektronice</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Sborník příspěvků VI. ročníku konference Vrstvy a povlaky 2007

ISBN

978-80-969310-4-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

79-84

Název nakladatele

Digital Graphic

Místo vydání

Trenčín

Místo konání akce

—

Datum konání akce

—

Typ akce podle státní příslušnosti

—

Kód UT WoS článku

—