Termodynamické modelování růstu AlGaInN metodou MOVPE

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22310%2F04%3A00011545" target="_blank" >RIV/60461373:22310/04:00011545 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/60461373:22310/04:00011546 RIV/60461373:22340/04:00011142

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Thermodynamic modeling of AlGaInN growth by MOVPE

Popis výsledku v původním jazyce

A detailed thermodynamic analysis of the system Al-Ga-In-N-C-H was performed using the Gibbs energy minimization method. The multicomponent gaseous phase, ternary liquid alloy of AIII elements, solid solution of AIII nitrides as well as graphite and Al4C3 were included into the calculation. The influence of the initial conditions, namely temperature, pressure and input gas phase composition, on the equilibrium composition of this system was in view. On the basis of the concept of local equilibrium between the growing layer and the gaseous phase in its close vicinity, the calculated results were used to optimize deposition parameters for MOVPE growth of (Al,Ga,In)N epitaxial layers.

Název v anglickém jazyce

Thermodynamic modeling of AlGaInN growth by MOVPE

Popis výsledku anglicky

A detailed thermodynamic analysis of the system Al-Ga-In-N-C-H was performed using the Gibbs energy minimization method. The multicomponent gaseous phase, ternary liquid alloy of AIII elements, solid solution of AIII nitrides as well as graphite and Al4C3 were included into the calculation. The influence of the initial conditions, namely temperature, pressure and input gas phase composition, on the equilibrium composition of this system was in view. On the basis of the concept of local equilibrium between the growing layer and the gaseous phase in its close vicinity, the calculated results were used to optimize deposition parameters for MOVPE growth of (Al,Ga,In)N epitaxial layers.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BJ - Termodynamika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA104%2F03%2F0387" target="_blank" >GA104/03/0387: Chemické aspekty přípravy tenkých vrstev nitridů 3. podskupiny ve vztahu k aplikacím v elektronice</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal Cryst.Growth

ISSN

0022-0248

e-ISSN

—

Svazek periodika

167

Číslo periodika v rámci svazku

1-2

Stát vydavatele periodika

BE - Belgické království

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

8-16

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—