Mikro-strukturování tenkých kovových vrstev

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22340%2F07%3A00018009" target="_blank" >RIV/60461373:22340/07:00018009 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Mikro-strukturování tenkých kovových vrstev
Popis výsledku v původním jazyce
Mikro-strukturované prvky z tenkých kovových vrstev se v mikrofluidních zařízeních objevují převážně ve formě planárních měřicích, či zdrojových elektrod, případně ve formě elektrodových polí. Teoretická část příspěvku obsahuje základní rozdělení techniknanášení tenkých kovových vrstev a detailnější popis vakuového naprašování. Dále se zaměřuje na metodu přenesení požadovaných struktur na naprášenou kovovou vrstvu - optickou UV litografii. Popisuje také techniku strukturování mokrým leptáním a iontovýmmletím. V experimentální části je popsán postup výroby mikro-elektrodového pole technikou optické UV litografie používaný na pracovišti ÚCHI, VŠCHT, Praha. Na závěr je ukázána aplikace mikro-elektrodového pole v mikro-fluidním zařízení "elektrolytická dioda".
Název v anglickém jazyce
Micro-structuring of thin metallic layers
Popis výsledku anglicky
This work deals with techniques used for creation of thin metallic layers on plastic substrates - metal sputtering and techniques used for micro-structuring of sputtered layers - UV lithography. In the experimental part of the work a procedure of micro-electrode field manufacturing used on ICT Prague is shown.

Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
Sborník workshopu: Inženýrské mikrosystémy pro biotechnologické aplikace
ISBN
978-80-7080-020-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
75-81
Název nakladatele
VŠCHT Praha
Místo vydání
Praha
Místo konání akce
Praha
Datum konání akce
19. 6. 2007
Typ akce podle státní příslušnosti
CST - Celostátní akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)