Výroba fluidních mikročipů ze skelných substrátů

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22340%2F07%3A00018432" target="_blank" >RIV/60461373:22340/07:00018432 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Fabrication of glass fluidic microchips

Popis výsledku v původním jazyce

This paper is focused on fabrication of glass microfluidic chips to study electroosmotic flow, which is one of the most important method of liquid transport in microsystems. We have used standard flat glass for micro-fabrication. Flat glass is coated with a thin layer of metal (chromium, gold, etc.). Structures in metal are fabricated using UV-photolithography. Structured metal layer is used as a cover layer in the step of isotropic glass etching. To get the fabricated pieces with microstuctures together low temperature bonding is used after etching. Examples of fabricated glass microfluidic chips are presented.

Název v anglickém jazyce

Fabrication of glass fluidic microchips

Popis výsledku anglicky

This paper is focused on fabrication of glass microfluidic chips to study electroosmotic flow, which is one of the most important method of liquid transport in microsystems. We have used standard flat glass for micro-fabrication. Flat glass is coated with a thin layer of metal (chromium, gold, etc.). Structures in metal are fabricated using UV-photolithography. Structured metal layer is used as a cover layer in the step of isotropic glass etching. To get the fabricated pieces with microstuctures together low temperature bonding is used after etching. Examples of fabricated glass microfluidic chips are presented.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

CI - Průmyslová chemie a chemické inženýrství

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GD104%2F03%2FH141" target="_blank" >GD104/03/H141: Reakční a transportní jevy ve složitých homogenních a heterogenních systémech</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of 34th International Conference of Slovak Society of Chemical Engineering, 21.-25.5.2007, Tatranské Matliare, Slovenská republika

ISBN

978-80-227-2640-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Název nakladatele

Slovenská společnost chemického inženýrství

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Tatranské Matliare

Datum konání akce

21. 5. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—