Malosériová technologie výroby senzorů pomocí plasmové depozice
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22340%2F20%3A43921579" target="_blank" >RIV/60461373:22340/20:43921579 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68378271:_____/20:00540719
Výsledek na webu
<a href="http://www.tesla-blatna.cz/_soubory/Z_polop_TRIO_MPO_4.pdf" target="_blank" >http://www.tesla-blatna.cz/_soubory/Z_polop_TRIO_MPO_4.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Malosériová technologie výroby senzorů pomocí plasmové depozice
Popis výsledku v původním jazyce
Postup výroby chemorezistivních senzorů plynů pomocí vyvinutého zařízení, které pomocí plazmatické depozice nanáší senzitivní vrstvu pro specifickou skupinu plynů na připravenou senzorovou platformu KBS4. Základním materiálem pro depozici je slisovaná tableta směsi práškového acetyl acetonátu cínu (SnAcAc) a oxidu cíníčitého (SnO2). Senzorová platforma je výsledkem předchozích výrobních operací, kde základní operací je depozice platinové vrstvy na Al2O3 keramický substrát. Jde o oboustranný čip, který obsahuje vyhřívání a interdigitální elektrody. Finální operací je pouzdření platformy se senzorovou vrstvou do TO-5 pouzdra.
Název v anglickém jazyce
Small Series Technology of Sensor Production Using PLD
Popis výsledku anglicky
The process of manufacturing chemoresistive gas sensors using a developed device that uses plasma deposition to apply a sensitive layer for a specific group of gases to the prepared sensor platform KBS4. The base material for deposition is a compressed tablet of a mixture of powdered tin acetyl acetonate (SnAcAc) and tin dioxide (SnO2). The sensor platform is the result of previous production operations, where the basic operation is the deposition of a platinum layer on an Al2O3 ceramic substrate. It is a double-sided chip that contains heating and interdigital electrodes. The final operation is encapsulating the platform with the sensor layer into a TO-5 enclosure.
Klasifikace
Druh
Z<sub>polop</sub> - Poloprovoz
CEP obor
—
OECD FORD obor
20201 - Electrical and electronic engineering
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/FV20350" target="_blank" >FV20350: Chemirezistory na bázi nanokompozitních vrstev pro detekci plynů</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2020
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
Technologie senzorů na KBS4
Číselná identifikace
—
Technické parametry
V rámci projektu byla realizována technologie výroby chemorezistivních senzorů plynů na keramickém substrátu Al2O3 se senzorovou vrstvou deponovanou pomocí vyvinuté aparatury pro plazmatickou depozici. Celý čip je následně pouzdřen do pouzdra TO-5.
Ekonomické parametry
Zavedení nových produktů do výrobního portfolia s cílem zvýšení tržeb a objemu výroby v oblasti senzorů.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
00375306
Název vlastníka
Tesla Blatná, a.s.; VŠCHT Praha; FZÚ AV ČR, v. v. i.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
http://www.tesla-blatna.cz/_soubory/Z_polop_TRIO_MPO_4.pdf