Senzorová platforma pro SAW aplikace

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22340%2F24%3A43931261" target="_blank" >RIV/60461373:22340/24:43931261 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://www.tesla-blatna.cz/fe/files/funds/FW10010057-V1_funkcni_vzorek.pdf" target="_blank" >https://www.tesla-blatna.cz/fe/files/funds/FW10010057-V1_funkcni_vzorek.pdf</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Senzorová platforma pro SAW aplikace

Popis výsledku v původním jazyce

V souladu s platnou metodikou Úřadu vlády ČR je uplatňován funkční vzorek „Senzorová platforma pro SAW aplikace“. Funkční vzorek vznikl v přímé souvislosti s řešením projektu TAČR program Trend 10 FW10010057 „Vývoj senzorů pro detekci vodíku a oxidu uhelnatého v energetice a automobilovém průmyslu “. V rámci výzkumu byla na základě provedených simulací připravena technikou naprašování a litografii senzorová platforma využívající propagaci povrchové akustické vlny piezoelektrickým substrátem. Navrženou platformu je možné využít pro detekci plynných analytů v prostředí obsahujícím vodík a alkany. Při návrhu a realizaci byl brán zřetel i na možnost použití platformy v prostředí s tlakem až 8 bar. Využití SAW platformy umožní nový přístup ke konstrukci plynových senzorů s využitím nových citlivých nanovrstev. Senzorová platforma je tvořena systémem elektrod, kdy jedna dvojice elektrod slouží jako vysílač a druhá jako přijímač povrchové akustické vlny. Systém elektrod je připraven litografickou technikou na substrátu z monokrystalu křemene. Senzorová platforma je navržena tak, aby ji bylo možné využít pro měření koncentrace analytů v plynovodech. Planární elektrodová struktura z tenkých vrstev kovů: 70 nm zlata a 7nm adhezní vrstva nikl-chrom na piezoelektrickém substrátu 5x5 cm. Výroba SAW senzorové platformy probíhá tenkovrstvou technologií (naprašování tenkých vrstev, fotolitografie, chemické leptání kovů), technologie výroby umožňuje efektivní produkci s ohledem na reprodukovatelnost i náklady.

Název v anglickém jazyce

Sensor platform for SAW applications

Popis výsledku anglicky

In accordance with the valid methodology of the Government Office of the Czech Republic, the functional sample &quot;Sensor platform for SAW applications&quot; is applied. The functional sample was created in direct connection with the project TAČR Trend 10 FW10010057 &quot;Development of sensors for hydrogen and carbon monoxide detection in the energy and automotive industry&quot;. In the framework of the research, a sensor platform using surface acoustic wave propagation through a piezoelectric substrate was prepared using sputtering and lithography techniques based on simulations. The proposed platform can be used for the detection of gaseous analytes in hydrogen and alkane containing environments. The design and implementation also took into account the possibility of using the platform in environments with pressures up to 8 bar. The use of the SAW platform will enable a new approach to the design of gas sensors using new sensitive nanolayers. The sensor platform consists of a system of electrodes, where one pair of electrodes serves as a transmitter and the other as a receiver of the surface acoustic wave. The electrode system is prepared by a lithographic technique on a single crystal quartz substrate. The sensor platform is designed so that it can be used to measure the concentration of analytes in gas pipelines. Planar electrode structure of thin metal layers: 70 nm gold and 7 nm nickel-chromium adhesion layer on a 5x5 cm piezoelectric substrate. The fabrication of the SAW sensor platform is done by thin-film technology (thin film sputtering, photolithography, chemical etching of metals), the fabrication technology enables efficient production with respect to reproducibility and cost.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

—

OECD FORD obor

20501 - Materials engineering

Projekt

<a href="/cs/project/FW10010057" target="_blank" >FW10010057: Vývoj senzorů pro detekci vodíku a oxidu uhelnatého v energetice a automobilovém průmyslu</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2024

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

FW10010057 -V1

Číselná identifikace

1

Technické parametry

Planární elektrodová struktura z tenkých vrstev kovů: 70 nm zlata a 7nm adhezní vrstva nikl-chrom na piezoelektrickém substrátu 5x5 cm. Výroba SAW senzorové platformy probíhá tenkovrstvou technologií (naprašování tenkých vrstev, fotolitografie, chemické leptání kovů), technologie výroby umožňuje efektivní produkci s ohledem na reprodukovatelnost i náklady.

Ekonomické parametry

Senzorová platforma je navržena tak, aby ji bylo možné využít pro měření koncentrace vodíku a alkanů v plynovodech.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

00375306

Název vlastníka

Tesla Blatná, a.s. (33,4%); VŠCHT Praha (33,3%); UFE AV ČR, v. v. i. (33,3%)

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Požadavek na licenční poplatek

—

Adresa www stránky s výsledkem

https://www.tesla-blatna.cz/fe/files/funds/FW10010057-V1_funkcni_vzorek.pdf