Electron attachment to hexafluoropropylene oxide (HFPO)
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61388955%3A_____%2F18%3A00497402" target="_blank" >RIV/61388955:_____/18:00497402 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.5051724" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1063/1.5051724</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.5051724" target="_blank" >10.1063/1.5051724</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Electron attachment to hexafluoropropylene oxide (HFPO)
Popis výsledku v původním jazyce
We probe the electron attachment in hexafluoropropylene oxide (HFPO), C3F6O, a gas widely used in plasma technologies. We determine the absolute electron attachment cross section using two completely different experimental approaches: (i) a crossed-beam experiment at single collision conditions (local pressures of 5 × 10−4 mbar) and (ii) a pulsed Townsend experiment at pressures of 20–100 mbar. In the latter method, the cross sections are unfolded from the electron attachment rate coefficients. The cross sections derived independently by the two methods are in very good agreement. We additionally discuss the dissociative electron attachment fragmentation patterns and their role in the radical production in industrial HFPO plasmas.
Název v anglickém jazyce
Electron attachment to hexafluoropropylene oxide (HFPO)
Popis výsledku anglicky
We probe the electron attachment in hexafluoropropylene oxide (HFPO), C3F6O, a gas widely used in plasma technologies. We determine the absolute electron attachment cross section using two completely different experimental approaches: (i) a crossed-beam experiment at single collision conditions (local pressures of 5 × 10−4 mbar) and (ii) a pulsed Townsend experiment at pressures of 20–100 mbar. In the latter method, the cross sections are unfolded from the electron attachment rate coefficients. The cross sections derived independently by the two methods are in very good agreement. We additionally discuss the dissociative electron attachment fragmentation patterns and their role in the radical production in industrial HFPO plasmas.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10403 - Physical chemistry
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA17-04844S" target="_blank" >GA17-04844S: Účinné průřezy a dynamika elektronového rozptylu na molekulárních systémech</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2018
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Journal of Chemical Physics
ISSN
0021-9606
e-ISSN
—
Svazek periodika
149
Číslo periodika v rámci svazku
20
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000451745000020
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85057524413