Novel Approaches to Material Evaluation of thin Surface Layers by Resonant Ultrasound Spectroscopy

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61388998%3A_____%2F09%3A00328155" target="_blank" >RIV/61388998:_____/09:00328155 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Novel Approaches to Material Evaluation of thin Surface Layers by Resonant Ultrasound Spectroscopy

Popis výsledku v původním jazyce

The laser-based modal resonant ultrasound spectroscopy is modified for measurements of thin surface layers on a substrate. This paper describes determination of all in-plane elastic properties of thin layers from small resonant frequency shifts of substrate induced by deposition of the layer.

Název v anglickém jazyce

Novel Approaches to Material Evaluation of thin Surface Layers by Resonant Ultrasound Spectroscopy

Popis výsledku anglicky

The laser-based modal resonant ultrasound spectroscopy is modified for measurements of thin surface layers on a substrate. This paper describes determination of all in-plane elastic properties of thin layers from small resonant frequency shifts of substrate induced by deposition of the layer.

Druh

O - Ostatní výsledky

CEP obor

BI - Akustika a kmity

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA101%2F09%2F0702" target="_blank" >GA101/09/0702: Mechanické vlastnosti funkčních vrstev submikronových tloušťek</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů