Depozice ochranných vrstev spoužitím rf výboje v siloxanech
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389005%3A_____%2F07%3A00079403" target="_blank" >RIV/61389005:_____/07:00079403 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/00216224:14310/07:00022271
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Deposition of protective coatings in rf organosilicon discharges
Popis výsledku v původním jazyce
The paper discusses the deposition of protective coatings ranging from organosilicon plasma polymers to SiO2-like films and hard diamond-like carbon/silicon oxide (DLC : SiOx) coatings in radio frequency capacitively coupled discharges using hexamethyldisiloxane (HMDSO). As a result of the optimization of the deposition conditions it was possible to obtain highperformance protective coatings. In the HMDSO/O2 mixture, it was shown that rather than the SiO2-like film a hard cross-linked SiOxCyHz polymerfilm can be used as a protective coating for polycarbonate. The film hardness and elasticmodulus were 10 GPa and 75 GPa, respectively. The films deposited from HMDSO/CH4 and HMDSO/CH4/H2 mixtures exhibited the attractive properties of DLC films with the partial elimination of some of their drawbacks. The film hardness and elastic modulus were above 22 GPa and 120 GPa, respectively.
Název v anglickém jazyce
Deposition of protective coatings in rf organosilicon discharges
Popis výsledku anglicky
The paper discusses the deposition of protective coatings ranging from organosilicon plasma polymers to SiO2-like films and hard diamond-like carbon/silicon oxide (DLC : SiOx) coatings in radio frequency capacitively coupled discharges using hexamethyldisiloxane (HMDSO). As a result of the optimization of the deposition conditions it was possible to obtain highperformance protective coatings. In the HMDSO/O2 mixture, it was shown that rather than the SiO2-like film a hard cross-linked SiOxCyHz polymerfilm can be used as a protective coating for polycarbonate. The film hardness and elasticmodulus were 10 GPa and 75 GPa, respectively. The films deposited from HMDSO/CH4 and HMDSO/CH4/H2 mixtures exhibited the attractive properties of DLC films with the partial elimination of some of their drawbacks. The film hardness and elastic modulus were above 22 GPa and 120 GPa, respectively.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Plasma Sources Science & Technology
ISSN
0963-0252
e-ISSN
—
Svazek periodika
16
Číslo periodika v rámci svazku
1
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
10
Strana od-do
123-132
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—