Mechanical and optical properties of SiO2 thin films deposited on glass

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389013%3A_____%2F18%3A00497477" target="_blank" >RIV/61389013:_____/18:00497477 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68378271:_____/18:00497477

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1007/s11696-018-0420-z" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1007/s11696-018-0420-z</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1007/s11696-018-0420-z" target="_blank" >10.1007/s11696-018-0420-z</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Mechanical and optical properties of SiO2 thin films deposited on glass

Popis výsledku v původním jazyce

The optical and mechanical properties of amorphous SiO2 flms deposited on soda-lime silicate foat glass by reactive RF magnetron sputtering at room temperature were investigated in dependence of the process pressure. The densities of the flms are strongly infuenced by the process pressure and vary between 2.38 and 1.91 g cm−3 as the pressure changes from 0.27 to 1.33 Pa. The refractive indices of the flms shift between 1.52 and 1.37, while the residual compressive stresses in the deposited flms vary in the range from 440 to 1 MPa. Hardness and reduced elastic modulus values follow the same trend and decline with the increase of process pressure from 8.5 to 2.2 GPa and from 73.7 to 30.9 GPa, respectively. The abrasive wear resistance decreases with the density of the films.

Název v anglickém jazyce

Mechanical and optical properties of SiO2 thin films deposited on glass

Popis výsledku anglicky

The optical and mechanical properties of amorphous SiO2 flms deposited on soda-lime silicate foat glass by reactive RF magnetron sputtering at room temperature were investigated in dependence of the process pressure. The densities of the flms are strongly infuenced by the process pressure and vary between 2.38 and 1.91 g cm−3 as the pressure changes from 0.27 to 1.33 Pa. The refractive indices of the flms shift between 1.52 and 1.37, while the residual compressive stresses in the deposited flms vary in the range from 440 to 1 MPa. Hardness and reduced elastic modulus values follow the same trend and decline with the increase of process pressure from 8.5 to 2.2 GPa and from 73.7 to 30.9 GPa, respectively. The abrasive wear resistance decreases with the density of the films.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10402 - Inorganic and nuclear chemistry

Projekt

<a href="/cs/project/EF16_013%2F0001403" target="_blank" >EF16_013/0001403: Evropská podpora české účasti na budování CTA observatoře (CTA-CZ)</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2018

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Chemical Papers

ISSN

0366-6352

e-ISSN

—

Svazek periodika

72

Číslo periodika v rámci svazku

9

Stát vydavatele periodika

SK - Slovenská republika

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

2143-2151

Kód UT WoS článku

000440149500003

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85050778416