Application of EUV optics to surface modification of materials
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F13%3A00395869" target="_blank" >RIV/61389021:_____/13:00395869 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Application of EUV optics to surface modification of materials
Popis výsledku v původním jazyce
We report results of experiments connected with surface modi?cation of materials with an intense extreme ultraviolet (EUV) laser beam. Irradiated by the laser beam from a discharge-plasma EUV source (with wavelength of 46.9 nm) based on a high-current capillary discharge driver, the samples have been investigated by atomic-force microscope (AFM). The laser beam is focused with a spherical Si/Sc multilayer-coated mirror on polymethylmethacrylate (PMMA), gold-covered-PMMA and gallium arsenide (GaAs) samples. It turned out that desorption and ablation regimes, which are observed in all these cases strongly depends on substrate materials.
Název v anglickém jazyce
Application of EUV optics to surface modification of materials
Popis výsledku anglicky
We report results of experiments connected with surface modi?cation of materials with an intense extreme ultraviolet (EUV) laser beam. Irradiated by the laser beam from a discharge-plasma EUV source (with wavelength of 46.9 nm) based on a high-current capillary discharge driver, the samples have been investigated by atomic-force microscope (AFM). The laser beam is focused with a spherical Si/Sc multilayer-coated mirror on polymethylmethacrylate (PMMA), gold-covered-PMMA and gallium arsenide (GaAs) samples. It turned out that desorption and ablation regimes, which are observed in all these cases strongly depends on substrate materials.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/LG13029" target="_blank" >LG13029: Výzkum v rámci Mezinárodního centra hustého magnetizovaného plazmatu</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proceedings of SPIE 8777
ISBN
978-0-8194-9579-2
ISSN
0277-786X
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
877707-877707
Název nakladatele
SPIE Press
Místo vydání
Bellingham, Washington
Místo konání akce
Prague
Datum konání akce
15. 4. 2013
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
000329577700005