Zařízení pro vyvedení XUV a/nebo měkkého rentgenového záření z komory do vakua a způsob provedení tohoto procesu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F15%3A00456026" target="_blank" >RIV/61389021:_____/15:00456026 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=1470640&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=" target="_blank" >http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=1470640&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Zařízení pro vyvedení XUV a/nebo měkkého rentgenového záření z komory do vakua a způsob provedení tohoto procesu

Popis výsledku v původním jazyce

Řešení se týká zařízení a způsobu vyvedení XUV a/nebo měkkého rtg záření z komory naplněné kapalinou do vakua, při kterém se využívá exploze kovového drátku uloženého vakuotěsně v dielektrické zátce a připojeného v komoře k vysokonapěťové elektrodě a v evakuovaném prostoru k zemnicí elektrodě. Komora a evakuovaný prostor jsou od sebe oddělené dělicí stěnou, v níž je vakuotěsně uložená dielektrická zátka. Po přivedení VN impulzu na vysokonapěťovou elektrodu protéká mezi vysokonapěťovou elektrodou a zemníelektrodou elektrický proud, který drátek roztaví, vypaří a zionizuje a vytvoří tak kanál naplněný horkým, hustým plazmatem generujícím intenzivní XUV a/nebo měkké rtg záření šířící se do evakuovaného prostoru. Kanál s kapalnými stěnami jak v komoře naplněné kapalinou, tak v dielektrické zátce po skončení proudového pulzu zaniká, tavenina stěn otvoru v dielektrické zátce otvor uzavírá a chladne, a tím opět vakuotěsně odděluje komoru naplněnou kapalinou od evakuovaného prostoru

Název v anglickém jazyce

Method of extracting XUV and/or soft X-ray radiation from a chamber to vacuum and device for making the same

Popis výsledku anglicky

The present invention relates to a method of and device for extracting XUV and/or soft X-ray radiation from a chamber (3) filled with a liquid to vacuum. The method of the present invention uses explosion of a metal wire (2) disposed vacuum-tight withina dielectric plug (4) and connected in the chamber (3) to a high-voltage electrode (1) a in an evacuated space (8) to an earth electrode (7). The chamber (3) and the evacuated space (8) are separated from each other by a parting wall (5) with the dielectric plug (4) mounted in vacuum-tight manner therein. After application of a high-voltage pulse to the high-voltage electrode (1), electric current flowing between the high-voltage electrode (1) and the earth electrode causes melting of the wire (2), which evaporates and ionizes creating thus a channel filled with a hot, dense plasma generating intense XUV and/or soft X-ray radiation propagating in the evacuated space (8). After termination of the current pulse, the channel with liquid

Druh

P - Patent

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Číslo patentu nebo vzoru

305364

Vydavatel

CZ001 -

Název vydavatele

Industrial Property Office

Místo vydání

Prague

Stát vydání

CZ - Česká republika

Datum přijetí

8. 7. 2015

Název vlastníka

Ústav fyziky plazmatu Akademie věd České republiky, v. v. i

Způsob využití

A - Výsledek využívá pouze poskytovatel

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence