Aging of Al thin film extreme ultraviolet filters

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F19%3A00518278" target="_blank" >RIV/61389021:_____/19:00518278 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2521988" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1117/12.2521988</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2521988" target="_blank" >10.1117/12.2521988</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Aging of Al thin film extreme ultraviolet filters

Popis výsledku v původním jazyce

Thin film Al filters, very popular for their high transmittance in the wavelength range 17 to 67 nm and simultaneously low transmittance in the visible and near UV region, are prone to oxidation. The amorphous Al2O3 layers on the Al surfaces have much smaller transmittance than the bulk Al material, and, therefore, they strongly influence the total transmittance of the filter. This paper gives not only the transmittance of very old Al filters, but also maps the transmittance development of Al filters in two years span since their delivery in not controlled atmosphere. Surprisingly, it turned out that while the transmission of surface layers (present on filters since the very beginning) slightly increases with time, the average attenuation rate per unit filter thickness of the bulk material (Al) with time dramatically rises.

Název v anglickém jazyce

Aging of Al thin film extreme ultraviolet filters

Popis výsledku anglicky

Thin film Al filters, very popular for their high transmittance in the wavelength range 17 to 67 nm and simultaneously low transmittance in the visible and near UV region, are prone to oxidation. The amorphous Al2O3 layers on the Al surfaces have much smaller transmittance than the bulk Al material, and, therefore, they strongly influence the total transmittance of the filter. This paper gives not only the transmittance of very old Al filters, but also maps the transmittance development of Al filters in two years span since their delivery in not controlled atmosphere. Surprisingly, it turned out that while the transmission of surface layers (present on filters since the very beginning) slightly increases with time, the average attenuation rate per unit filter thickness of the bulk material (Al) with time dramatically rises.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

<a href="/cs/project/LTT17015" target="_blank" >LTT17015: Výzkum v rámci Mezinárodního centra hustého magnetizovaného plazmatu</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2019

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISBN

9781510627307

ISSN

0277-786X

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

"Roč. 11035 (2019)"

Název nakladatele

SPIE

Místo vydání

Bellingham

Místo konání akce

Praha

Datum konání akce

1. 4. 2019

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000489750600009