Ion beam figuring with using Einzel lens
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F19%3A00536126" target="_blank" >RIV/61389021:_____/19:00536126 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/11385/2542822/Ion-beam-figuring-with-using-Einzel-lens/10.1117/12.2542822.short" target="_blank" >https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/11385/2542822/Ion-beam-figuring-with-using-Einzel-lens/10.1117/12.2542822.short</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2542822" target="_blank" >10.1117/12.2542822</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Ion beam figuring with using Einzel lens
Popis výsledku v původním jazyce
Ion Beam Figuring (IBF) has been used for nearly 20 years by several laboratories and companies as a highly deterministic method of final processing of ultra-precision optical elements. Nowadays, requirements for high precision optics demand to have full control over the ion beam, which includes both the ion beam profile and intensity. Electrostatic focusing using an Einzel lens setup provides a simple option to control the ion beam shape by changing voltage. This experimental study investigates the early stage development of an Einzel lens used to control an RF40 ion source. First results demonstrate the possibility to use an Einzel lens to control the ion beam profile and indicate possible future challenges this technology has to overcome when used in IBF machines.
Název v anglickém jazyce
Ion beam figuring with using Einzel lens
Popis výsledku anglicky
Ion Beam Figuring (IBF) has been used for nearly 20 years by several laboratories and companies as a highly deterministic method of final processing of ultra-precision optical elements. Nowadays, requirements for high precision optics demand to have full control over the ion beam, which includes both the ion beam profile and intensity. Electrostatic focusing using an Einzel lens setup provides a simple option to control the ion beam shape by changing voltage. This experimental study investigates the early stage development of an Einzel lens used to control an RF40 ion source. First results demonstrate the possibility to use an Einzel lens to control the ion beam profile and indicate possible future challenges this technology has to overcome when used in IBF machines.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2019
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
SPIE: Optics and Measurement 2019 International Conference
ISBN
978-1-5106-3548-7
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
"Roč. 11385 (2019)"
Název nakladatele
SPIE
Místo vydání
Bellingham
Místo konání akce
Liberec
Datum konání akce
8. 10. 2019
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—