Two Axis Micropositioning System with Piezoelectric Actuators and Digital Control.
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F01%3A12010035" target="_blank" >RIV/68081731:_____/01:12010035 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Two Axis Micropositioning System with Piezoelectric Actuators and Digital Control.
Popis výsledku v původním jazyce
The scanning table, which is controlled by a PZT control system that has been constructed, is presented. It is used for a fine manipulation of a probe in measurement of the profile of the laser beam focused by high N. A. lens e.g.. The whole system has been calibrated by a two-axis laser interferometer. Where the PZT control system and the interferometer were connected to the CAN network and the actual X-Y position was saved to the PC synchronously with the CAN network time stamps generated by the PZT control system. Precision about 300nm at the positioning system was reached.
Název v anglickém jazyce
Two Axis Micropositioning System with Piezoelectric Actuators and Digital Control.
Popis výsledku anglicky
The scanning table, which is controlled by a PZT control system that has been constructed, is presented. It is used for a fine manipulation of a probe in measurement of the profile of the laser beam focused by high N. A. lens e.g.. The whole system has been calibrated by a two-axis laser interferometer. Where the PZT control system and the interferometer were connected to the CAN network and the actual X-Y position was saved to the PC synchronously with the CAN network time stamps generated by the PZT control system. Precision about 300nm at the positioning system was reached.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2001
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proceedings of the 12th Czech-Slovak-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics (Proc. SPIE 4356).
ISBN
0-8194-4047-7
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
333-338
Název nakladatele
SPIE-The International Society for Optical Engineering
Místo vydání
Washington
Místo konání akce
Velké Losiny [CZ]
Datum konání akce
12. 9. 2000
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—