Rekonstrukce parametrů mřížky z elipsometrických dat

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989100%3A27350%2F04%3A00011034" target="_blank" >RIV/61989100:27350/04:00011034 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Reconstruction of grating parameters from ellipsometric data

Popis výsledku v původním jazyce

This paper presents specific experimental ellipsometric data fit of dielectric 2D grating, which can be characterized as very shallow structure. The grating pattern is of quared shape, with sharp edges and depth to period ratio about 1/1000. The rigorouscoupled wave analysis (RCWA) was used for characterization of grating response on optical wavelengths. Boundary conditions were formulated using transfer matrix method. Material parameters of the patterned dots are supposed to be known from additional experiments. The task of the fit is to find unknown thickness of all parts of dots.

Název v anglickém jazyce

Reconstruction of grating parameters from ellipsometric data

Popis výsledku anglicky

This paper presents specific experimental ellipsometric data fit of dielectric 2D grating, which can be characterized as very shallow structure. The grating pattern is of quared shape, with sharp edges and depth to period ratio about 1/1000. The rigorouscoupled wave analysis (RCWA) was used for characterization of grating response on optical wavelengths. Boundary conditions were formulated using transfer matrix method. Material parameters of the patterned dots are supposed to be known from additional experiments. The task of the fit is to find unknown thickness of all parts of dots.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Proceedings of SPIE

ISSN

0277-786X

e-ISSN

—

Svazek periodika

Neuveden

Číslo periodika v rámci svazku

5445

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

226-229

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—