Některé numerické modely fitování disperzních křivek

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989100%3A27670%2F04%3A00011174" target="_blank" >RIV/61989100:27670/04:00011174 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Some numerical models of dispersion curve fitting

Popis výsledku v původním jazyce

The parameters of two dispersion models for Si3N4 dots of multilayer 2D grating are established by the fitting procedures. The Gauss-Newton and Levenberg-Marquardt fitting algorithms are compared. Spectral ellipsometric measurements as the resource of experimental data are reported. In the objective function, various weighting coefficients corresponding to ellipsometric angles are tested.

Název v anglickém jazyce

Some numerical models of dispersion curve fitting

Popis výsledku anglicky

The parameters of two dispersion models for Si3N4 dots of multilayer 2D grating are established by the fitting procedures. The Gauss-Newton and Levenberg-Marquardt fitting algorithms are compared. Spectral ellipsometric measurements as the resource of experimental data are reported. In the objective function, various weighting coefficients corresponding to ellipsometric angles are tested.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of SPIE, Microwave and Optical Technology 2003

ISBN

0277-786X/04

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

230-234

Název nakladatele

SPIE - The International Society for Optical Engineering

Místo vydání

Bellingham

Místo konání akce

Ostrava

Datum konání akce

11. 8. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—