Zrcadlová spektroskopická elipsometrie pro monitorování kritické velikosti mřížek vyrobených na tlustých transparentních substrátech

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00013296" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00013296 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216208:11320/05:00001494 RIV/61989100:27350/05:00013313

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Specular spectroscopic ellipsometry for the critical dimension monitoring of gratings fabricated on a thick transparent plate

Popis výsledku v původním jazyce

Specular-mode spectroscopic ellipsometry is applied to analyze the optical response of gratings fabricated on a thick transparent plate substrate. The principles of the optical response of the gratings are described by employing incoherent contributionsdue to backreflections in the finite transparent substrate medium. A special function identifies a "diminution effect" caused by deflecting the secondary contributions from the primary beam axis. Two different methods are used to measure the ellipsometric response, a liquid solution method with the backreflections eliminated and a method including the incoherent backreflections. The grating parameters deduced by fitting from the measurement using the first method are applied to simulate the ellipsometric response using the second method. The spectral dependencies yielded by both methods are compared with remarkable agreement between the simulations and the measurements, which suggests the high usability of the backreflection method in t

Název v anglickém jazyce

Specular spectroscopic ellipsometry for the critical dimension monitoring of gratings fabricated on a thick transparent plate

Popis výsledku anglicky

Specular-mode spectroscopic ellipsometry is applied to analyze the optical response of gratings fabricated on a thick transparent plate substrate. The principles of the optical response of the gratings are described by employing incoherent contributionsdue to backreflections in the finite transparent substrate medium. A special function identifies a "diminution effect" caused by deflecting the secondary contributions from the primary beam axis. Two different methods are used to measure the ellipsometric response, a liquid solution method with the backreflections eliminated and a method including the incoherent backreflections. The grating parameters deduced by fitting from the measurement using the first method are applied to simulate the ellipsometric response using the second method. The spectral dependencies yielded by both methods are compared with remarkable agreement between the simulations and the measurements, which suggests the high usability of the backreflection method in t

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Applied Physics

ISSN

0021-8979

e-ISSN

—

Svazek periodika

97

Číslo periodika v rámci svazku

5

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—