Spektroskopická elipsometrie sinusoidálních reliéfních mřížek

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00013177" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00013177 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Spectroscopic ellipsometry of sinusoidal surface-relief gratings

Popis výsledku v původním jazyce

Spectroscopic ellipsometry (SE) is used to study a sinusoidal-relief grating fabricated on a surface of transparent polymer. An optically thick polymer layer is situated on a glass substrate and its refraction index is optically matched to the index of the glass. The rigorous coupled-wave analysis, implemented as the airy-like internal reflection series, is applied to calculate the optical response of the relief grating. The entire optical response of the sample is determined by employing incoherent backreflections at the interface between the polymer and the glass. The parameters describing the dimensions and the real shape of the sine-like relief, as well as the quality of the optical matching between the polymer and the glass, are determined using SE together with atomic force microscopy as a complementary technique.

Název v anglickém jazyce

Spectroscopic ellipsometry of sinusoidal surface-relief gratings

Popis výsledku anglicky

Spectroscopic ellipsometry (SE) is used to study a sinusoidal-relief grating fabricated on a surface of transparent polymer. An optically thick polymer layer is situated on a glass substrate and its refraction index is optically matched to the index of the glass. The rigorous coupled-wave analysis, implemented as the airy-like internal reflection series, is applied to calculate the optical response of the relief grating. The entire optical response of the sample is determined by employing incoherent backreflections at the interface between the polymer and the glass. The parameters describing the dimensions and the real shape of the sine-like relief, as well as the quality of the optical matching between the polymer and the glass, are determined using SE together with atomic force microscopy as a complementary technique.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Applied Surface Science

ISSN

0169-4332

e-ISSN

—

Svazek periodika

244

Číslo periodika v rámci svazku

1-4

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

221-224

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—