Effect of deposition conditions on mechanical properties of magnetron sputtered SiC thin films
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F12%3A33141402" target="_blank" >RIV/61989592:15310/12:33141402 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/49777513:23640/12:43917344
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Effect of deposition conditions on mechanical properties of magnetron sputtered SiC thin films
Popis výsledku v původním jazyce
The interdependence of mechanical properties (hardness, elastic modulus, internal stress, coefficient of friction), structure and composition of various amorphous and nanocrystalline DC magnetron and DC reactive magnetron sputtered SiC a SiC:H films wasstudied. Composition was determined by electron micro analyses and structure was investigated using Raman spectroscopy. Indentation hardness and reduced modulus were measured by instrumented nanoindentation, the coefficient of friction was evaluated using pin-on-disc method. It has been shoved that mechanical and tribological properties of a-SiC are strongly influenced by conditions of deposition process. Using appropriate deposition setup it is possible to obtain superhard nanocrystalline films with hardness of 40 GPa (higher than ?-SiC) as well as films compromising high hardness (approx. 19 GPa) and relatively low friction (approx. 0.15).
Název v anglickém jazyce
Effect of deposition conditions on mechanical properties of magnetron sputtered SiC thin films
Popis výsledku anglicky
The interdependence of mechanical properties (hardness, elastic modulus, internal stress, coefficient of friction), structure and composition of various amorphous and nanocrystalline DC magnetron and DC reactive magnetron sputtered SiC a SiC:H films wasstudied. Composition was determined by electron micro analyses and structure was investigated using Raman spectroscopy. Indentation hardness and reduced modulus were measured by instrumented nanoindentation, the coefficient of friction was evaluated using pin-on-disc method. It has been shoved that mechanical and tribological properties of a-SiC are strongly influenced by conditions of deposition process. Using appropriate deposition setup it is possible to obtain superhard nanocrystalline films with hardness of 40 GPa (higher than ?-SiC) as well as films compromising high hardness (approx. 19 GPa) and relatively low friction (approx. 0.15).
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Chemické listy
ISSN
0009-2770
e-ISSN
—
Svazek periodika
106
Číslo periodika v rámci svazku
SI3
Stát vydavatele periodika
CZ - Česká republika
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
"s395"-"s398"
Kód UT WoS článku
000314237900010
EID výsledku v databázi Scopus
—