Způsob měření iontové hmotnostní rozdělovací funkce v nízkoteplotním plazmatu a zařízení pro provádění tohoto způsobu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F20%3A73604097" target="_blank" >RIV/61989592:15310/20:73604097 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/308/308234.pdf" target="_blank" >https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/308/308234.pdf</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Způsob měření iontové hmotnostní rozdělovací funkce v nízkoteplotním plazmatu a zařízení pro provádění tohoto způsobu

Popis výsledku v původním jazyce

Způsob měření iontové hmotnostní rozdělovací funkce v nízkoteplotním plazmatu aplikovaném v plazmochemickém reaktoru, v němž je umístěn měřený plazmatický objekt, který je vybaven zdrojem napájení výboje napojeným na výbojovou elektrodu a referenční elektrodu, ve kterém je zabudována elektrony separující sonda vybavená sběrnou elektrodou a který je propojen na řídicí počítač. Podstatou vynálezu je, že po primárním nastavení parametrů měřicího systému se jednak postupně nastavuje referenční napětí na elektrony separující sondě a její sběrné elektrodě a měří se proud procházející přes referenční elektrodu, plazmatickým objektem a sběrnou elektrodou a jednak jsou pomocí referenčního detektoru a snímacího detektoru průběžně vyhodnocovány amplitudy digitalizovaných vysokofrekvenčních signálů přicházejících z elektrony separující sondy a ze sběrné elektrody.

Název v anglickém jazyce

Method of measuring the ion mass distribution function in a low temperature plasma and apparatus for this

Popis výsledku anglicky

Method of measuring the ion mass distribution function in a low temperature plasma applied in a plasma-chemical reactor, in which a measured plasma object is provided, which has a discharge power supply connected to the discharge electrode and a reference electrode in which an electron separating probe is built-in with a collecting electrode connected to the control computer. The nature of the invention is that after the primary setting of the measurement system parameters, the reference voltage on the electrons separating the probe and its collecting electrode is gradually adjusted and the current passing through the reference electrode, plasma object and collecting electrode is measured and using reference detector amplitudes of digitalized high-frequency signals are regularly evaluated coming from the electron separating probe and the collecting electrode.

Druh

P - Patent

CEP obor

—

OECD FORD obor

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Projekt

<a href="/cs/project/TH03020196" target="_blank" >TH03020196: Pokročilé metody přípravy tenkovrstvých strukturovaných systémů pro optické aplikace</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Číslo patentu nebo vzoru

308234

Vydavatel

CZ001 -

Název vydavatele

Industrial Property Office

Místo vydání

Prague

Stát vydání

CZ - Česká republika

Datum přijetí

26. 1. 2020

Název vlastníka

Univerzita Palackého v Olomouci

Způsob využití

A - Výsledek využívá pouze poskytovatel

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence