Testing of a Micro Faraday Cup Array for Ion Detection in SIMS

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F67985882%3A_____%2F11%3A00367803" target="_blank" >RIV/67985882:_____/11:00367803 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1080/00032719.2010.511739" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1080/00032719.2010.511739</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1080/00032719.2010.511739" target="_blank" >10.1080/00032719.2010.511739</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Testing of a Micro Faraday Cup Array for Ion Detection in SIMS

Popis výsledku v původním jazyce

A micro-Faraday array detector (row of miniature 32 thin film strip electrodes wire bonded to an on-chip integrated capacitance transimpedance amplifier) was tested for use in a multiple collector secondary ion mass spectrometry. The detector was mountedon a standard IMS3f SIMS instrument in place of a microchannel plate. The measurements were performed by using a silicon sample bombarded by either [image omitted] or Cs+ primary ions with or without D2O flooding and detecting secondary ions of Si +/-,SiH +/-, O-, SiD-, OD-. A parallel detection of near masses of 29Si and 28SiH or 18O and 16OD was demonstrated at a sensitivity level 230 counts/s.

Název v anglickém jazyce

Testing of a Micro Faraday Cup Array for Ion Detection in SIMS

Popis výsledku anglicky

A micro-Faraday array detector (row of miniature 32 thin film strip electrodes wire bonded to an on-chip integrated capacitance transimpedance amplifier) was tested for use in a multiple collector secondary ion mass spectrometry. The detector was mountedon a standard IMS3f SIMS instrument in place of a microchannel plate. The measurements were performed by using a silicon sample bombarded by either [image omitted] or Cs+ primary ions with or without D2O flooding and detecting secondary ions of Si +/-,SiH +/-, O-, SiD-, OD-. A parallel detection of near masses of 29Si and 28SiH or 18O and 16OD was demonstrated at a sensitivity level 230 counts/s.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/ME%20894" target="_blank" >ME 894: Micro-Faraday array detektor s vysokým dynamickým rozsahem pro multikolekční izotopický SIMS</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Analytical Letters

ISSN

0003-2719

e-ISSN

—

Svazek periodika

44

Číslo periodika v rámci svazku

6

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

8

Strana od-do

1050-1057

Kód UT WoS článku

000289246200008

EID výsledku v databázi Scopus

—