A molecular dynamics simulation of the effect of near-surface gas-phase collisions on final velocities of sputtered ions

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F67985882%3A_____%2F13%3A00396712" target="_blank" >RIV/67985882:_____/13:00396712 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/44555601:13440/13:43883909

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1002/sia.4964" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1002/sia.4964</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1002/sia.4964" target="_blank" >10.1002/sia.4964</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

A molecular dynamics simulation of the effect of near-surface gas-phase collisions on final velocities of sputtered ions

Popis výsledku v původním jazyce

We have performed molecular dynamic simulations of low-energy sputtering of copper by Ar atoms and estimated ionization probabilities of individual atoms. The trajectories of the sputtered copper atoms were investigated around the distance from the surface, where the charge state of the sputtered species is formed (the freezing distance). It was found that a large part of the sputtered atoms or ions undergoes near-surface gas-phase collisions after the charge state had been determined at freezing distances. The passage of the ions through the zone of collisions above the surface leads to a randomization of their freezing-distance velocities, which affects velocity distributions of both ions and neutral atoms

Název v anglickém jazyce

A molecular dynamics simulation of the effect of near-surface gas-phase collisions on final velocities of sputtered ions

Popis výsledku anglicky

We have performed molecular dynamic simulations of low-energy sputtering of copper by Ar atoms and estimated ionization probabilities of individual atoms. The trajectories of the sputtered copper atoms were investigated around the distance from the surface, where the charge state of the sputtered species is formed (the freezing distance). It was found that a large part of the sputtered atoms or ions undergoes near-surface gas-phase collisions after the charge state had been determined at freezing distances. The passage of the ions through the zone of collisions above the surface leads to a randomization of their freezing-distance velocities, which affects velocity distributions of both ions and neutral atoms

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JB - Senzory, čidla, měření a regulace

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/ME10086" target="_blank" >ME10086: Kinetická elektronová emise z kovů a polovodičů způsobená dopadem pomalých iontů</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Interface Analysis

ISSN

0142-2421

e-ISSN

—

Svazek periodika

45

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

75-78

Kód UT WoS článku

000319048700020

EID výsledku v databázi Scopus

—