Optical emission spectroscopy and energy-resolved mass spectroscopy in pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F02%3A00070767" target="_blank" >RIV/49777513:23520/02:00070767 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Optical emission spectroscopy and energy-resolved mass spectroscopy in pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering
Popis výsledku v původním jazyce
The paper deals with pulsed dc magnetron discharges proposed for ionized and high-rate sputtering of thin films. Time-resolved optical emission spectroscopy was used to characterize the ionization degree of copper (target) and argon (working gas) atoms,and the relative density of copper atoms in front of a sputtered copper target and in a plasma bulk during pulses. Energy-resolved mass spetroscopy with time resolution was carried out in front of a substrate to investigate the energy distribution of copper and argon ions, and their fractions in ion fluxes on the grounded substrate.
Název v anglickém jazyce
Optical emission spectroscopy and energy-resolved mass spectroscopy in pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering
Popis výsledku anglicky
The paper deals with pulsed dc magnetron discharges proposed for ionized and high-rate sputtering of thin films. Time-resolved optical emission spectroscopy was used to characterize the ionization degree of copper (target) and argon (working gas) atoms,and the relative density of copper atoms in front of a sputtered copper target and in a plasma bulk during pulses. Energy-resolved mass spetroscopy with time resolution was carried out in front of a substrate to investigate the energy distribution of copper and argon ions, and their fractions in ion fluxes on the grounded substrate.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/ME%20203" target="_blank" >ME 203: Nové systémy pro přípravu tenkých vrstev v plazmatu</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2002
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Optical emission spectroscopy and energy-resolved mass spectroscopy in pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering
ISBN
0953910512
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
92
Název nakladatele
University of Liverpool
Místo vydání
Liverpool
Místo konání akce
Liverpool
Datum konání akce
1. 1. 2002
Typ akce podle státní příslušnosti
CST - Celostátní akce
Kód UT WoS článku
—