Time-resolved optical emission spectroscopy of pulsed dc magnetron sputtering plasmas

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F03%3A00000033" target="_blank" >RIV/49777513:23520/03:00000033 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Time-resolved optical emission spectroscopy of pulsed dc magnetron sputtering plasmas

Popis výsledku v původním jazyce

Relative densities of cooper (target) atoms and ions, and argon (working gas)atoms and ions were investigated in front of a sputtered target and in a plasma bulk during voltage pulses and in pauses between them by means of time-resolved optical emissionspectroscopy.

Název v anglickém jazyce

Time-resolved optical emission spectroscopy of pulsed dc magnetron sputtering plasmas

Popis výsledku anglicky

Relative densities of cooper (target) atoms and ions, and argon (working gas)atoms and ions were investigated in front of a sputtered target and in a plasma bulk during voltage pulses and in pauses between them by means of time-resolved optical emissionspectroscopy.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

XXVI International Conference on Phenomena in Ionized Gases, Volume 1

ISBN

3-00-011689-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

139-140

Název nakladatele

Local Organizing Committee

Místo vydání

Greifswald

Místo konání akce

Greifswald

Datum konání akce

15. 7. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—