Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Mass spectrometry investigation of magnetron sputtering discharges

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F17%3A43932215" target="_blank" >RIV/49777513:23520/17:43932215 - isvavai.cz</a>

  • Nalezeny alternativní kódy

    RIV/68378271:_____/17:00477676

  • Výsledek na webu

    <a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.06.032" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.06.032</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

    <a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.06.032" target="_blank" >10.1016/j.vacuum.2017.06.032</a>

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Mass spectrometry investigation of magnetron sputtering discharges

  • Popis výsledku v původním jazyce

    This paper deals with the mass spectrometric characterization of atoms, radicals and ions generated in the RF magnetron discharges sputtering metal targets in Ne, Ar, Kr and Xe gases. In magnetron discharges different kinds of species such as atoms, radicals and positive and negative ions according to the target material and sputtering gas pressure can be generated. The mass spectrometry of the magnetron discharge, which gives the detailed information on these species, is of key importance for the development of new advanced thin films. The amount of individual atoms, radicals and ions and the ion energy distribution as a function of flow and pressure of the sputtering gas, and the magnetron power is discussed in detail. This article shows (1) the ion distribution functions of gas and sputtered target material ions as a function of sputtering gas pressure, (2) the evolution of the amount of single-ionized and double-ionized atoms of gases and metals generated in the RF discharge during sputtering of Ag films in various inert gases as a function of gas pressure, and (3) the contamination of the sputtered metallic films by the oxygen from a residual gas atmosphere in the deposition chamber at low film deposition rates.

  • Název v anglickém jazyce

    Mass spectrometry investigation of magnetron sputtering discharges

  • Popis výsledku anglicky

    This paper deals with the mass spectrometric characterization of atoms, radicals and ions generated in the RF magnetron discharges sputtering metal targets in Ne, Ar, Kr and Xe gases. In magnetron discharges different kinds of species such as atoms, radicals and positive and negative ions according to the target material and sputtering gas pressure can be generated. The mass spectrometry of the magnetron discharge, which gives the detailed information on these species, is of key importance for the development of new advanced thin films. The amount of individual atoms, radicals and ions and the ion energy distribution as a function of flow and pressure of the sputtering gas, and the magnetron power is discussed in detail. This article shows (1) the ion distribution functions of gas and sputtered target material ions as a function of sputtering gas pressure, (2) the evolution of the amount of single-ionized and double-ionized atoms of gases and metals generated in the RF discharge during sputtering of Ag films in various inert gases as a function of gas pressure, and (3) the contamination of the sputtered metallic films by the oxygen from a residual gas atmosphere in the deposition chamber at low film deposition rates.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science

  • CEP obor

  • OECD FORD obor

    10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

  • Návaznosti

    I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2017

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Vacuum

  • ISSN

    0042-207X

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    143

  • Číslo periodika v rámci svazku

    SEP 2017

  • Stát vydavatele periodika

    GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

  • Počet stran výsledku

    6

  • Strana od-do

    438-443

  • Kód UT WoS článku

    000407654900062

  • EID výsledku v databázi Scopus

    2-s2.0-85021811235