Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Radicals and ions in magnetron sputtering discharges in noble gases

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F19%3A00517476" target="_blank" >RIV/68378271:_____/19:00517476 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Radicals and ions in magnetron sputtering discharges in noble gases

  • Popis výsledku v původním jazyce

    The chapter deals with mass spectrometric characterization of atoms, radicals and ions in magnetron sputtering discharges generated in Ne, Ar, Kr and Xe gases. In these discharges, different kinds of species such as gas and metal atoms, radicals, negative and positive ions according to the magnetron target and the kind of sputtering gas used are generated. The amount of individual species and ion energy distribution functions as a function of the sputtering gas pressure and the magnetron power are investigated in detail.

  • Název v anglickém jazyce

    Radicals and ions in magnetron sputtering discharges in noble gases

  • Popis výsledku anglicky

    The chapter deals with mass spectrometric characterization of atoms, radicals and ions in magnetron sputtering discharges generated in Ne, Ar, Kr and Xe gases. In these discharges, different kinds of species such as gas and metal atoms, radicals, negative and positive ions according to the magnetron target and the kind of sputtering gas used are generated. The amount of individual species and ion energy distribution functions as a function of the sputtering gas pressure and the magnetron power are investigated in detail.

Klasifikace

  • Druh

    C - Kapitola v odborné knize

  • CEP obor

  • OECD FORD obor

    10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2019

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název knihy nebo sborníku

    Horizons in World Physics

  • ISBN

    978-1-53614-712-4

  • Počet stran výsledku

    61

  • Strana od-do

    56-116

  • Počet stran knihy

    228

  • Název nakladatele

    Nova Science Publishers Inc

  • Místo vydání

    New York

  • Kód UT WoS kapitoly