Mechanical Properties of the Plasma Deposited Thin Films Prepared from Mixture of Methane, Hexamethyldisiloxane and Hydrogene.

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081723%3A_____%2F02%3A07023061" target="_blank" >RIV/68081723:_____/02:07023061 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Mechanical Properties of the Plasma Deposited Thin Films Prepared from Mixture of Methane, Hexamethyldisiloxane and Hydrogene.
Popis výsledku v původním jazyce
Hard diamond like carbon films with an addition of SiOx were deposited by PECVD on various substrates. The influence of substrate type and several parameters of the deposition process on mechanical properties was studied.
Název v anglickém jazyce
Mechanical Properties of the Plasma Deposited Thin Films Prepared from Mixture of Methane, Hexamethyldisiloxane and Hydrogene.
Popis výsledku anglicky
Hard diamond like carbon films with an addition of SiOx were deposited by PECVD on various substrates. The influence of substrate type and several parameters of the deposition process on mechanical properties was studied.

Projekt
<a href="/cs/project/IBS2041105" target="_blank" >IBS2041105: Povrchy a rozhraní v konstrukčních materiálech - aplikace moderních technologií a počítačového modelování</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2002
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
Proceedings of the 1st International Conference on Global Research and Education.
ISBN
—
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
190-194
Název nakladatele
Comenius University
Místo vydání
Bratislava
Místo konání akce
Bratislava [SK]
Datum konání akce
23. 9. 2002
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)