Detecting plasticity in al thin films by means of bulge test

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081723%3A_____%2F17%3A00485630" target="_blank" >RIV/68081723:_____/17:00485630 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68081731:_____/17:00485630

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Detecting plasticity in al thin films by means of bulge test

Popis výsledku v původním jazyce

The Bulge test proved to be a useful tool for measuring elastic properties of thin films andnfree standing membranes, particularly Young’s modulus and residual stress. The basic principlenof bulge test is application of differential pressure on one side of the a membrane, measurement ofnthe shape of bulged surface as a function of pressure, in this case via laser interferometer, andnevaluation of a pressure-deflection relationship. In this study, bilayer membrane consisting of ansilicon nitride supporting layer and an aluminium layer deposited by means of magnetronnsputtering is subjected to the bulge test. The results clearly show signs of a non-linear behaviornthat is caused by plastic deformation in the aluminium layer. Finite element analysis is beingndeveloped to describe this behavior because analytical model using deflection of central point andnpressure relation falls apart in case of non-linearity.

Název v anglickém jazyce

Detecting plasticity in al thin films by means of bulge test

Popis výsledku anglicky

The Bulge test proved to be a useful tool for measuring elastic properties of thin films andnfree standing membranes, particularly Young’s modulus and residual stress. The basic principlenof bulge test is application of differential pressure on one side of the a membrane, measurement ofnthe shape of bulged surface as a function of pressure, in this case via laser interferometer, andnevaluation of a pressure-deflection relationship. In this study, bilayer membrane consisting of ansilicon nitride supporting layer and an aluminium layer deposited by means of magnetronnsputtering is subjected to the bulge test. The results clearly show signs of a non-linear behaviornthat is caused by plastic deformation in the aluminium layer. Finite element analysis is beingndeveloped to describe this behavior because analytical model using deflection of central point andnpressure relation falls apart in case of non-linearity.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2017

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Vrstvy a povlaky 2017

ISBN

978-80-972133-2-9

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

43-48

Název nakladatele

M-PRESS s. r. o.

Místo vydání

Trenčianská Teplá

Místo konání akce

Rožnov pod Radhoštěm

Datum konání akce

23. 10. 2017

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—