Nenabíjející vysokovakuový režim rastrovacího elektronového mikroskopu

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F02%3A00047173" target="_blank" >RIV/68081731:_____/02:00047173 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Nenabíjející vysokovakuový režim rastrovacího elektronového mikroskopu
Popis výsledku v původním jazyce
Byla vypracována, ověřena a uplatněna metoda rastrovací elektronové mikroskopie při tzv. kritické energii, při níž je počet emitovaných elektronů v průměru shodný s počtem dopadajících elektronů a v preparátu zůstává zachována nábojová rovnováha. To umožňuje nenabíjející mikroskopii nevodičů i ve vysokém vakuu. Metoda je založena na měření časového vývoje obrazového signálu z poprvé osvětleného místa preparátu. Energie dopadu elektronů je řízena předpětím preparátu tvořícího katodu tzv. katodové čočky.
Název v anglickém jazyce
Non-charging high vacuum mode of the scanning electron microscope
Popis výsledku anglicky
Method has been elaborated, proved and implemented for scanning electron microscopy at the critical energy at which the average number of emitted electrons is identical with the number of incident electrons so the charge balance in the sample is preserved. This enables one to perform a non-charging microscopy of non-conductors even in a high vacuum. The method is based on measurement of time development of the image signal from a first illuminated sample site. Energy of electron impact is controlled viabias of the sample serving as cathode of so-called cathode lens.

Projekt
<a href="/cs/project/IBS2065017" target="_blank" >IBS2065017: Rastrovací elektronová mikroskopie nevodivých vzorků</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2002
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)