Analysis of the boundaries of ZrO.sub.2./sub. and HfO.sub.2./sub. thin films by atomic force microscopy and the combined optical method.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F02%3A12020023" target="_blank" >RIV/68081731:_____/02:12020023 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Analysis of the boundaries of ZrO.sub.2./sub. and HfO.sub.2./sub. thin films by atomic force microscopy and the combined optical method.

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper an atomic force microscopy analysis of the microrough upperboundaries of ZrO.sub.2./sub. and HfO.sub.2./sub. thin films is presented. Within this analysis the values of the width, root-mean-square value of heights and power spectral densityfunction of these boundaries are determined for ZrO.sub.2./sub. and HfO.sub.2./sub. exhibiting different thicknesses. The thickness dependences of the quantities mentioned are introduced.The values of the thicknesses of the films are evaluated using thecombined optical method. This optical method is also used to describe boundary microroughness within the effective medium theory. A discussion of the results concerning the microroughness of the upper boundaries of both the ZrO.sub.2./sub. and HfO.sub.2./sub. thin films is also introduced.

Název v anglickém jazyce

Analysis of the boundaries of ZrO.sub.2./sub. and HfO.sub.2./sub. thin films by atomic force microscopy and the combined optical method.

Popis výsledku anglicky

In this paper an atomic force microscopy analysis of the microrough upperboundaries of ZrO.sub.2./sub. and HfO.sub.2./sub. thin films is presented. Within this analysis the values of the width, root-mean-square value of heights and power spectral densityfunction of these boundaries are determined for ZrO.sub.2./sub. and HfO.sub.2./sub. exhibiting different thicknesses. The thickness dependences of the quantities mentioned are introduced.The values of the thicknesses of the films are evaluated using thecombined optical method. This optical method is also used to describe boundary microroughness within the effective medium theory. A discussion of the results concerning the microroughness of the upper boundaries of both the ZrO.sub.2./sub. and HfO.sub.2./sub. thin films is also introduced.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2002

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and interface analysis

ISSN

0142-2421

e-ISSN

—

Svazek periodika

34

Číslo periodika v rámci svazku

N/A

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

559-564

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—