SEM visualization of doping in semiconductors.
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F02%3A12020102" target="_blank" >RIV/68081731:_____/02:12020102 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
SEM visualization of doping in semiconductors.
Popis výsledku v původním jazyce
Any image contrast, visualizing the doped domains in semiconductor structures, is excluded within the class of conventional materials contrasts mediated by backscattered electrons (BSE) because of the relative dopant concentration not exceeding 10.sup.-5./sup. or 10.sup.-4./sup.. The doping canbe observed in the secondary electron (SE) signal with a contrast, mostlynot exceeding the range of units of percent. The contrast origin was seenin differences in the ionization energy between p and n type material.
Název v anglickém jazyce
SEM visualization of doping in semiconductors.
Popis výsledku anglicky
Any image contrast, visualizing the doped domains in semiconductor structures, is excluded within the class of conventional materials contrasts mediated by backscattered electrons (BSE) because of the relative dopant concentration not exceeding 10.sup.-5./sup. or 10.sup.-4./sup.. The doping canbe observed in the secondary electron (SE) signal with a contrast, mostlynot exceeding the range of units of percent. The contrast origin was seenin differences in the ionization energy between p and n type material.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/IAA1065901" target="_blank" >IAA1065901: Vlnově optické kontrasty v rastrovacím elektronovém mikroskopu</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2002
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proceedings of 15th international congress on electron microscopy.
ISBN
0-620-29294-6
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
39-40
Název nakladatele
Microscopy society of Southern Africa
Místo vydání
Durban
Místo konání akce
Durban [ZA]
Datum konání akce
1. 9. 2002
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—