Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F02%3A12020144" target="_blank" >RIV/68081731:_____/02:12020144 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM.

Popis výsledku v původním jazyce

Práce se zabývá vypracováním metody umožňující kvantifikaci detekční účinosti detektoru sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Cílem je studovat celý proces zpracování signálu od dopadu primárních elektronů na vzorek až po konečnézobrazení na monitoru. Při řešení tématu bude mimo jiné nutné zvládnout statistiku interakce elektronů a fotonů s pevnou látkou, problematiku vzniku šumu a kvantitativní vyhodnocování poměru signálu k šumu zpracovávaného signálu. Po vypracování teoretického modelu celé detekční trasy by měl být navržen experiment a provedena měření na konkrétním detekčním systému.

Název v anglickém jazyce

Quantification of detection effectiveness of the detector of secondary electrons in SEM.

Popis výsledku anglicky

The work concerns with working out of a method enabling quantification of detection effectiveness of the detector of secondary electrons in the scanning electron microscope. The aim is to study the whole process of the signal processing from the impact of signal electrons onto the specimen to the final imaging on the monitor. It will be necessary to manage the statistics of the interaction of electrons and photons with a solid, the problems of the noise origination and quantitative evaluation of the signal-to-noise ratio of the processed signal. After working out of a theoretical model of the whole detection path an experiment should be proposed and measurements on a concrete detection system carried out.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2002

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Sborník prací prezentovaných na Semináři doktorandů oboru Elektronová optika konaném dne 16. 12. 2002.

ISBN

80-238-9915-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

21-22

Název nakladatele

Ústav přístrojové techniky AV ČR

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno [CZ]

Datum konání akce

16. 12. 2002

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—