Detekce úhlového rozložení signálních elektronů v nízkoenergiovém REM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109026" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109026 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Detection of angular distribution of signal electrons in low-voltage SEM

Popis výsledku v původním jazyce

In an UHV apparatus designed in ISI Brno, a low-energy SEM (a scanning LEEM) is realized by adding a cathode-lens attachment to a SEM. Our aim is redesign the LESEM in the apparatus to allow the detection of the angular distribution of signal electrons.For this we have to separate the signal electrons from the primary beam with a Wien filter and project the image of the back-focal plane of the objective lens on an area-sensitive detector (a back-illuminated CCD). For this we have to design a new electrostatic optics working in UHV

Název v anglickém jazyce

Detection of angular distribution of signal electrons in low-voltage SEM

Popis výsledku anglicky

In an UHV apparatus designed in ISI Brno, a low-energy SEM (a scanning LEEM) is realized by adding a cathode-lens attachment to a SEM. Our aim is redesign the LESEM in the apparatus to allow the detection of the angular distribution of signal electrons.For this we have to separate the signal electrons from the primary beam with a Wien filter and project the image of the back-focal plane of the objective lens on an area-sensitive detector (a back-illuminated CCD). For this we have to design a new electrostatic optics working in UHV

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA202%2F03%2F1575" target="_blank" >GA202/03/1575: Tvorba obrazu v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu prostřednictvím snímání úhlového rozdělení signálních elektronů</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

EMC 2004 - Proceedings of the 13th European Microscopy Congress

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

337-338

Název nakladatele

Belgian Society for Microscopy

Místo vydání

Liege

Místo konání akce

Antwerp

Datum konání akce

22. 8. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—