Návrh nízko-energiového rastrovacího elektronového mikroskopu s elektrostatickou optikou a maticovým detektorem

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00022419" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00022419 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Design of low energy SEM with electrostatic optics and matrix detector

Popis výsledku v původním jazyce

The detectors usually used for the collection of signal electrons in scanning electron microscopes (SEM) give little or no information on the angular or energy distribution of signal. If such an information is needed, another type of detector, a matrix CCD detector, has to be applied. Our paper describes the design of a SEM using this type of detector. The experimental apparatus designed at ISI Brno is an ultra high vacuum (UHV) low energy SEM (LESEM) with a cathode lens.

Název v anglickém jazyce

Design of low energy SEM with electrostatic optics and matrix detector

Popis výsledku anglicky

The detectors usually used for the collection of signal electrons in scanning electron microscopes (SEM) give little or no information on the angular or energy distribution of signal. If such an information is needed, another type of detector, a matrix CCD detector, has to be applied. Our paper describes the design of a SEM using this type of detector. The experimental apparatus designed at ISI Brno is an ultra high vacuum (UHV) low energy SEM (LESEM) with a cathode lens.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA202%2F03%2F1575" target="_blank" >GA202/03/1575: Tvorba obrazu v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu prostřednictvím snímání úhlového rozdělení signálních elektronů</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings - 7th Multinational Congress on Microscopy (MCM 2005)

ISBN

961-6303-69-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

365-366

Název nakladatele

Jožef Stefan Institute

Místo vydání

Ljubljana

Místo konání akce

Portorož

Datum konání akce

26. 6. 2005

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—