Článek charakterizuje způsoby zavedení rastrovací verze LEEM do konvenčního SEM prostřednictvím vložení katodové čočky pod objektiv přístroje. Shrnuty jsou základní vlastnosti rastrovacího LEEMu

Kód výsledku v IS VaVaI

RIV/68081731:_____/07:00092205 - isvavai.cz

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Signal Processing of Secondary Electron Images in SEM

Popis výsledku v původním jazyce

Procedure of signal processing in the Everhart-Thornley type of the secondary electron detector in the SEM is analyzed as regards signal statistics, detective quantum efficiency and transport and possible losses of information.

Název v anglickém jazyce

Signal Processing of Secondary Electron Images in SEM

Popis výsledku anglicky

Procedure of signal processing in the Everhart-Thornley type of the secondary electron detector in the SEM is analyzed as regards signal statistics, detective quantum efficiency and transport and possible losses of information.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

GA102/05/2327: Přímé zobrazení rozložení dopantů v polovodiči pomocí pomalých elektronů

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy

ISBN

978-80-239-9397-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

99-100

Název nakladatele

Czechoslovak Microscopy Society

Místo vydání

Prague

Místo konání akce

Prague

Datum konání akce

17. 6. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—