Studium nanostruktur elektronovým svazkem

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109098" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109098 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Examination Of Nanostructures By Electron Beam

Popis výsledku v původním jazyce

The scanning electron microscope (SEM) equipped with the cathode lens enables one to image the specimen within full scale of electron energies with nearly unchanged image resolution. In the very low energy range (units to hundreds of eV), not available in classical SEM (units to tens of keV), new contrasts appear that reflect local chemical, crystallinic and electronic properties of the specimen. Interpretation of the image is hence often ambiguous. Important alternative is combination with a complementary technique, particularly with the scanning Auger electron microscopy revealing the elemental composition within the information depth similar to that of the low energy SEM. In the frame of this project an ultrahigh vacuum (UHV) apparatus with the fieldemission electron gun is being completed with both methods implemented at the image resolution in the nm range

Název v anglickém jazyce

Examination Of Nanostructures By Electron Beam

Popis výsledku anglicky

The scanning electron microscope (SEM) equipped with the cathode lens enables one to image the specimen within full scale of electron energies with nearly unchanged image resolution. In the very low energy range (units to hundreds of eV), not available in classical SEM (units to tens of keV), new contrasts appear that reflect local chemical, crystallinic and electronic properties of the specimen. Interpretation of the image is hence often ambiguous. Important alternative is combination with a complementary technique, particularly with the scanning Auger electron microscopy revealing the elemental composition within the information depth similar to that of the low energy SEM. In the frame of this project an ultrahigh vacuum (UHV) apparatus with the fieldemission electron gun is being completed with both methods implemented at the image resolution in the nm range

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/KJB2065405" target="_blank" >KJB2065405: Studium nanostruktur elektronovým svazkem</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

EMAS 2004 - 6th Regional Workshop on Electron Probe Analysis Today - Practical Aspects

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

139

Název nakladatele

European Microbeam Analysis Society

Místo vydání

Bled

Místo konání akce

Bled

Datum konání akce

8. 5. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—