Imaging of specimens at optimized low and very low energies in scanning electron microscopy.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F99%3A12020094" target="_blank" >RIV/68081731:_____/99:12020094 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Imaging of specimens at optimized low and very low energies in scanning electron microscopy.

Popis výsledku v původním jazyce

A modern trend toward low electron energies in scanning electron microscopy (SEM), characterised by lowering the acceleration voltages in low voltage SEM (LVSEM) or by utilising a retarding-field optical element in low energy SEM (LESEM), makes the energy range where new contrasts appear accessible. This range is further extended by a cathode-lens equipped scanning low energy electron microscope (SLEEM) which achieves nearly constant spatial resolution throughout the energy scale. This enables one to optimise freely the electron beam energy according to the ask. At low energies, classes of image contrast exist that make visitable particular specimen data most effectively or even exclusively within certain energy intervals or at certain energy values only. Some contrasts are well understood and can already be utilised for practical surface examinations but others are not yet reliably explained and complementary experiments are needed.

Název v anglickém jazyce

Imaging of specimens at optimized low and very low energies in scanning electron microscopy.

Popis výsledku anglicky

A modern trend toward low electron energies in scanning electron microscopy (SEM), characterised by lowering the acceleration voltages in low voltage SEM (LVSEM) or by utilising a retarding-field optical element in low energy SEM (LESEM), makes the energy range where new contrasts appear accessible. This range is further extended by a cathode-lens equipped scanning low energy electron microscope (SLEEM) which achieves nearly constant spatial resolution throughout the energy scale. This enables one to optimise freely the electron beam energy according to the ask. At low energies, classes of image contrast exist that make visitable particular specimen data most effectively or even exclusively within certain energy intervals or at certain energy values only. Some contrasts are well understood and can already be utilised for practical surface examinations but others are not yet reliably explained and complementary experiments are needed.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

1999

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Scanning Microscopy

ISSN

0891-7035

e-ISSN

—

Svazek periodika

13

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

16

Strana od-do

7-22

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—