Detekce nízkoenergiových zpětně odražených elektronů v SEM
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00022408" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00022408 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Detection of Low Energy Backscattered Electrons in SEM
Popis výsledku v původním jazyce
Application of the low accelerating voltage of the primary electron beam became due to its obvious advantages very popular in last decade. Instruments which are able to work with accelerating voltage of 3 keV and lower are called Low Voltage Scanning Electron Microscopes (LV SEMs). Detection of the backscattered electrons (BSEs) in LV SEM is because of their low energy very questionable. An efficient way of low energy BSE detection is described in this work.
Název v anglickém jazyce
Detection of Low Energy Backscattered Electrons in SEM
Popis výsledku anglicky
Application of the low accelerating voltage of the primary electron beam became due to its obvious advantages very popular in last decade. Instruments which are able to work with accelerating voltage of 3 keV and lower are called Low Voltage Scanning Electron Microscopes (LV SEMs). Detection of the backscattered electrons (BSEs) in LV SEM is because of their low energy very questionable. An efficient way of low energy BSE detection is described in this work.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/KJB200650501" target="_blank" >KJB200650501: Detekce signálních elektronů při nízkých energiích primárního svazku v rastrovací elektronové mikroskopii</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2005
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proceedings - Microscopy Conference 2005 - Dreiländertagung /6./
ISBN
1019-6447
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
1
Strana od-do
61
Název nakladatele
Paul Scherrer Institute
Místo vydání
Villigen
Místo konání akce
Davos
Datum konání akce
28. 8. 2005
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—