Detekce zpětně odražených elektronů v nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopii

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F05%3APU52285" target="_blank" >RIV/00216305:26220/05:PU52285 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Detekce zpětně odražených elektronů v nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopii
Popis výsledku v původním jazyce
Tato práce se zabývá řešením problému detekce zpětně odražených elektronů při urychlovacím napětí nižším než 3 kV scintilačním detektorem. Při takto nízkém urychlovacím napětí, a tudíž malé energii zpětně odražených elektronů, produkují scintilační monokrystaly velmi nízký počet fotonů a obraz získaný scintilačním detektorem zpětně odražených elektronů je nekvalitní. Proto je nutné, pokud chceme získat obraz materiálového kontrastu, dodat zpětně odraženým elektronům energii potřebnou pro vytvoření dostaatečného množství fotonů a zároveň elektromagnetickým polem odklonit sekundární elektrony, které přinášejí do obrazu nepříznivý vliv topografického kontrastu.
Název v anglickém jazyce
Detection of Backscattered Electrons in Low Voltage Scanning Electron Microscopy
Popis výsledku anglicky
This paper deals with the problems of backscattered electrons (BSE) detection in low voltage scanning electron microscopy (LV SEM). The BSE energy is 3 keV and less in LV SEM. This low BSE energy causes problems with the acquisition of sufficient signalfor the image. It is necessary to accelerate BSE and separate SE to obtain applicable specimen image.

Projekt
<a href="/cs/project/GA102%2F05%2F0886" target="_blank" >GA102/05/0886: Výzkum detekčních systémů pravých sekundárních elektronů v nově koncipovaném environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2005
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
PDS 2004 - Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky
ISBN
80-239-4561-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
61-64
Název nakladatele
Ústav přístrojové techniky AV ČR
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Brno
Datum konání akce
15. 3. 2005
Typ akce podle státní příslušnosti
CST - Celostátní akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)