Trajektorie signálních elektronů v nízkonapěťovém BSE detektoru

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109052" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109052 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216305:26220/04:PU44568

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Trajectories of Signal Electrons in Low-Voltage BSE Detector

Popis výsledku v původním jazyce

Nowadays the development of the image formation in scanning electron microscope (SEM) is oriented to the use of scanning electron microscopes with low accelerating voltage of the primary beam (LV SEM). Secondary electrons (SEs) for topographical contrastobservation and backscattered electrons (BSEs) for material contrast observation are the main components of the detected signal in LV SEM. While the secondary electrons can be detected either by Everhart-Thornley scintillation detector or by the "in lens" SE detector, the detection of backscattered electrons (BSEs) in LV SEM is an unsolved problem yet

Název v anglickém jazyce

Trajectories of Signal Electrons in Low-Voltage BSE Detector

Popis výsledku anglicky

Nowadays the development of the image formation in scanning electron microscope (SEM) is oriented to the use of scanning electron microscopes with low accelerating voltage of the primary beam (LV SEM). Secondary electrons (SEs) for topographical contrastobservation and backscattered electrons (BSEs) for material contrast observation are the main components of the detected signal in LV SEM. While the secondary electrons can be detected either by Everhart-Thornley scintillation detector or by the "in lens" SE detector, the detection of backscattered electrons (BSEs) in LV SEM is an unsolved problem yet

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/IBS2065107" target="_blank" >IBS2065107: Rastrovací elektronová mikroskopie pro výzkum struktury vlhkých materiálů</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 9th International Seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation

ISBN

80-239-3246-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

77-78

Název nakladatele

Institute of Scientific Instruments AS CR

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Skalský Dvůr

Datum konání akce

12. 7. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—