Comparison of imaging with SE ionization and BSE scintillation detector in ESEM.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F03%3A12030031" target="_blank" >RIV/68081731:_____/03:12030031 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Comparison of imaging with SE ionization and BSE scintillation detector in ESEM.

Popis výsledku v původním jazyce

Environmental scanning electron microscopy (ESEM) or low-vacuum scanning electron microscopy (LV SEM) enables the visualisation of samples in a gaseous environment at the pressure of the specimen chamber from 1 Pa to over 1000 Pa. Detection of signal electrons, namely secondary electrons (SEs) cannot be realised in a gaseous environment of the specimen chamber in the same way as for the high vacuum SEM, because high voltage of the Everhart-Thornley detector is not compatible with the conductance of thelow vacuum environment [1]. For this reason, gaseous ions which are ionised by SEs from the specimen are used for the detection in ESEM. For the detection of the backscattered electrons (BSEs), conventional scintillation detector is the best to use.

Název v anglickém jazyce

Comparison of imaging with SE ionization and BSE scintillation detector in ESEM.

Popis výsledku anglicky

Environmental scanning electron microscopy (ESEM) or low-vacuum scanning electron microscopy (LV SEM) enables the visualisation of samples in a gaseous environment at the pressure of the specimen chamber from 1 Pa to over 1000 Pa. Detection of signal electrons, namely secondary electrons (SEs) cannot be realised in a gaseous environment of the specimen chamber in the same way as for the high vacuum SEM, because high voltage of the Everhart-Thornley detector is not compatible with the conductance of thelow vacuum environment [1]. For this reason, gaseous ions which are ionised by SEs from the specimen are used for the detection in ESEM. For the detection of the backscattered electrons (BSEs), conventional scintillation detector is the best to use.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA102%2F01%2F1271" target="_blank" >GA102/01/1271: Studium detekčních metod a systémů v hraničních podmínkách environmentální rastrovací elektronové mikroskopie</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 6th Multinational Congress on Microscopy - European Extension.

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

487-488

Název nakladatele

Croatian Society for Electron Microscopy

Místo vydání

Zagreb

Místo konání akce

Pula [HR]

Datum konání akce

1. 6. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—