Srovnání obrazu získaného pomocí ionizačního SE detektoru a scintilačního BSE detektoru v EREM.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F03%3APU36423" target="_blank" >RIV/00216305:26220/03:PU36423 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Comparison of imaging with SE ionisation and BSE scintillation detector in ESEM

Popis výsledku v původním jazyce

Environmental scanning electron microscopy (ESEM) or low-vacuum scanning electron microscopy (LV SEM) enables the visualisation of samples in a gaseous environment at the pressure of the specimen chamber from 1 Pa to over 1000 Pa. Detection of signal electrons, namely secondary electrons (SE) cannot be realised in a gaseous environment of the specimen chamber in the same way as for the high vacuum SEM, because high voltage of the Everhart-Thornley detector is not compatible with the conductance of the llow vacuum environment [1]. For this reason, gaseous ions which are ionised by SE from the specimen are used for the detection in ESEM. For the detection of the backscattered electrons (BSES), conventional scintillation detector is the best to use.

Název v anglickém jazyce

Comparison of imaging with SE ionisation and BSE scintillation detector in ESEM

Popis výsledku anglicky

Environmental scanning electron microscopy (ESEM) or low-vacuum scanning electron microscopy (LV SEM) enables the visualisation of samples in a gaseous environment at the pressure of the specimen chamber from 1 Pa to over 1000 Pa. Detection of signal electrons, namely secondary electrons (SE) cannot be realised in a gaseous environment of the specimen chamber in the same way as for the high vacuum SEM, because high voltage of the Everhart-Thornley detector is not compatible with the conductance of the llow vacuum environment [1]. For this reason, gaseous ions which are ionised by SE from the specimen are used for the detection in ESEM. For the detection of the backscattered electrons (BSES), conventional scintillation detector is the best to use.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings 6th Multinational Congress on Microscopy

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

487-488

Název nakladatele

—

Místo vydání

Pula

Místo konání akce

Pula

Datum konání akce

1. 6. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—