Výpočet nízkonapěťového BSE detektoru pro rastrovací elektronový mikroskop

Kód výsledku v IS VaVaI

RIV/00216305:26220/05:PU52283 - isvavai.cz

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Computations of the Low Voltage BSE Detector in SEM

Popis výsledku v původním jazyce

This paper deals with the possibilities of backscattered electrons detection by scintillation detector in low voltage scanning electron microscope (LV SEM). Low energy of signal electrons, especially backscattered electrons, is the reason of lower detectors yield. While the problem of secondary electrons detection was successfully solved by their extraction using a magnetic field and detection in objective lens, efficient detection of backscattered electrons remains unsolved. The initial energy of backsscattered electrons of 0.7-3 kV is the energy, on which the light yield of scintillators decreases. Backscattered electrons with this energy will be accelerated to scintillator by electrostatic field and secondary electrons with maximal energy of 50 eV will be filtered by an energy filter or by a magnetic field.

Název v anglickém jazyce

Computations of the Low Voltage BSE Detector in SEM

Popis výsledku anglicky

This paper deals with the possibilities of backscattered electrons detection by scintillation detector in low voltage scanning electron microscope (LV SEM). Low energy of signal electrons, especially backscattered electrons, is the reason of lower detectors yield. While the problem of secondary electrons detection was successfully solved by their extraction using a magnetic field and detection in objective lens, efficient detection of backscattered electrons remains unsolved. The initial energy of backsscattered electrons of 0.7-3 kV is the energy, on which the light yield of scintillators decreases. Backscattered electrons with this energy will be accelerated to scintillator by electrostatic field and secondary electrons with maximal energy of 50 eV will be filtered by an energy filter or by a magnetic field.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

GA102/05/0886: Výzkum detekčních systémů pravých sekundárních elektronů v nově koncipovaném environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

proceedings of the 11th Conference Student EEICT 2005

ISBN

80-214-2889-9

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

337-340

Název nakladatele

Vysoké učení technické v Brně

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

28. 4. 2005

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—