Scintilační detektor nízkoenergiových zpětně odražených elektronů

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F06%3A00076203" target="_blank" >RIV/68081731:_____/06:00076203 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Scintilační detektor nízkoenergiových zpětně odražených elektronů

Popis výsledku v původním jazyce

Byl navržen a zkonstruován nový scintilační detektor schopný detekovat zpětně odražené elektrony při energiích primárního svazku 2 keV a nižších v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Detektor pracuje na principu urychlení nízkoenergiových zpětně odražených elektronů na energii, při které je ve scintilátoru produkováno dostatečné množství fotonů pro záznam kvalitního obrazu. Sekundární elektrony jsou energiovým filtrem odkláněny od scintilátoru. Vhodným nastavením napětí na energiovém filtru, případně pozice detektoru, lze detektovat také signálovou směs sekundárních a zpětně odražených elektronů nebo samotné sekundární elektrony.

Název v anglickém jazyce

Scintillation detector of low energy backscattered electrons

Popis výsledku anglicky

New scintillation detector of backscattered electrons was developed. This detector is able to work at primary beam energies of 2 keV and lower in the scanning electron microscope. The detector function is based on the acceleration of the backscattered electrons to the energy at which the number of photons sufficient for a quality image is produced in the scintillator. Secondary electrons are deflected from the scintillator by an energy filter. Signal mix of secondary and backscattered electrons or secondary electrons only can be detected too. The detected signal is chosen by the appropriate setup of the bias of the energy filter and by the changing of the detector position.

Druh

X - Nezařazeno

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/KJB200650501" target="_blank" >KJB200650501: Detekce signálních elektronů při nízkých energiích primárního svazku v rastrovací elektronové mikroskopii</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů