Practical resolution limit in the scanning low energy electron microscope.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F02%3A12020044" target="_blank" >RIV/68081731:_____/02:12020044 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Practical resolution limit in the scanning low energy electron microscope.

Popis výsledku v původním jazyce

The modern trend towards low electron energies in scanning elecron microscopy (SEM) is characterised by lowering the acceleration voltages in the low-voltage SEM (LVSEM - the electron energy is constant throughout the optical column) or by utilising a retarding-field optical element in the low-elergy SEM (LESEM - the electron energy varies inside the optical column). These modes open access to energy ranges offering new contrast types. Further extension of the energy scale is available with a scanning low-energy electron microscope (SLEEM) fitted with a cathode lens .sup.1,2./sup. that achieves nearly constant spatial resolution down to lowest energies. Consequently, energy of the electron impact onto the specimen can be freely chosen according to a given task.

Název v anglickém jazyce

Practical resolution limit in the scanning low energy electron microscope.

Popis výsledku anglicky

The modern trend towards low electron energies in scanning elecron microscopy (SEM) is characterised by lowering the acceleration voltages in the low-voltage SEM (LVSEM - the electron energy is constant throughout the optical column) or by utilising a retarding-field optical element in the low-elergy SEM (LESEM - the electron energy varies inside the optical column). These modes open access to energy ranges offering new contrast types. Further extension of the energy scale is available with a scanning low-energy electron microscope (SLEEM) fitted with a cathode lens .sup.1,2./sup. that achieves nearly constant spatial resolution down to lowest energies. Consequently, energy of the electron impact onto the specimen can be freely chosen according to a given task.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/IAA1065901" target="_blank" >IAA1065901: Vlnově optické kontrasty v rastrovacím elektronovém mikroskopu</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2002

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of 15th international congress on electron microscopy.

ISBN

0-620-29294-6

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

99-100

Název nakladatele

Microscopy society of Southern Africa

Místo vydání

Durban

Místo konání akce

Durban [ZA]

Datum konání akce

1. 9. 2002

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—