Modulační přenosová funkce a detekční kvantová účinnost elektrony bombardovaného CCD detektoru elektronů s nízkou energií

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00022381" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00022381 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Modulation transfer function and detective quantum efficiency of electron bombarded charge coupled device detector for low energy electrons

Popis výsledku v původním jazyce

The use of a thinned back side illuminated charge coupled device chip as two-dimensional sensor working in direct electron bombarded mode at optimum energy of the incident signal electrons is demonstrated and the measurements of the modulation transfer function (MTF) and detective quantum efficiency (DQE) is described. The MTF was measured for energy of electrons 4 keV using an edge projection method and a stripe projection method. The decrease of the MTF for a maximum spatial frequency of 20.8 cycles/mm is 0.75 - 2.5 dB, and it is approximately the same for both horizontal and vertical directions. DQE was measured using an empty image and the mixing factor method. Empty images were acquired for energies of electrons from 2 to 5 keV and for various doses, ranging from nearly dark image to a nearly saturated one. DQE increases with increasing energy of bombarded electrons and reaches 0.92 for electron energy of 5 keV.

Název v anglickém jazyce

Modulation transfer function and detective quantum efficiency of electron bombarded charge coupled device detector for low energy electrons

Popis výsledku anglicky

The use of a thinned back side illuminated charge coupled device chip as two-dimensional sensor working in direct electron bombarded mode at optimum energy of the incident signal electrons is demonstrated and the measurements of the modulation transfer function (MTF) and detective quantum efficiency (DQE) is described. The MTF was measured for energy of electrons 4 keV using an edge projection method and a stripe projection method. The decrease of the MTF for a maximum spatial frequency of 20.8 cycles/mm is 0.75 - 2.5 dB, and it is approximately the same for both horizontal and vertical directions. DQE was measured using an empty image and the mixing factor method. Empty images were acquired for energies of electrons from 2 to 5 keV and for various doses, ranging from nearly dark image to a nearly saturated one. DQE increases with increasing energy of bombarded electrons and reaches 0.92 for electron energy of 5 keV.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA202%2F03%2F1575" target="_blank" >GA202/03/1575: Tvorba obrazu v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu prostřednictvím snímání úhlového rozdělení signálních elektronů</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Review of Scientific Instruments

ISSN

0034-6748

e-ISSN

—

Svazek periodika

76

Číslo periodika v rámci svazku

9

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—